Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf… Más…
Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf ihren Einsatz in der Halbleiterfertigung und den damit verknüpften Anforderungen an die Nachweisstärke der Verfahren bildet den Schwerpunkt des vorliegenden Buches. Verschiedene atomspektrometrische Methoden wie die Graphitrohratomabsorptionsspektrometrie (GFAAS), Mikrowelleninduziertes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (MIP-AES), Nichtdispersive Atomfluoreszenzspektrometrie (NAFS) und Induktiv gekoppeltes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (ICP-AES) wurden für die Ausarbeitung der Verfahren eingesetzt sowie deren Möglichkeiten und Grenzen aufgezeigt. Aufgrund der physikalisch-chemischen Eigenschaften der Gase und ihrer Reaktivität ist die Auswahl der Materialien des Gaseinführungs- und Analysensystems von entscheidender Bedeutung für eine richtige Analyse. Sowohl technische Modifikationen als auch Kalibrierungsmöglichkeiten werden präsentiert. Bücher > Sachbücher > Naturwissenschaften & Technik > Chemie 22.0 cm x 15.0 cm x 0.9 cm mm , VDM, Taschenbuch, VDM<
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*Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen* - Entwicklungen Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren in der Prozessgasanalytik / Taschenbuch für 59 € / Aus dem Bereich: Bücher, Wissenschaft, Technik Medien > Bücher nein Buch (kartoniert) Hardcover;Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik;Chemie, VDM Verlag Dr. Müller<
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Detalles del libro - Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen
EAN (ISBN-13): 9783639034356 ISBN (ISBN-10): 363903435X Tapa dura Tapa blanda Año de publicación: 2008 Editorial: VDM Verlag Dr. Müller 144 Páginas Peso: 0,231 kg Idioma: ger/Deutsch
Libro en la base de datos desde 2009-01-31T01:57:19-06:00 (Mexico City) Página de detalles modificada por última vez el 2023-09-17T07:13:08-06:00 (Mexico City) ISBN/EAN: 9783639034356
ISBN - escritura alterna: 3-639-03435-X, 978-3-639-03435-6 Mode alterno de escritura y términos de búsqueda relacionados: Título del libro: verfahren, spurenelemente, die bestimmung
