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The Source/Drain Engineering of Nanoscale Germanium-based MOS Devices - Zhiqiang Li
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Zhiqiang Li:

The Source/Drain Engineering of Nanoscale Germanium-based MOS Devices - encuadernado, tapa blanda

2016, ISBN: 366249681X

[EAN: 9783662496817], Neubuch, [SC: 0.0], [PU: Springer Berlin Heidelberg], CHEMIE; FESTKÖRPERPHYSIK; ELEKTRONIK / HALBLEITER; LEITUNG (PHYSIKALISCH) MASSENSPEKTROMETRIE - SPEKTROMETRIE; … Más…

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Zhiqiang Li:

The Source/Drain Engineering of Nanoscale Germanium-based MOS Devices - libro nuevo

2022, ISBN: 9783662496817

[ED: Buch], [PU: Springer Berlin Heidelberg], Neuware - This book mainly focuses on reducing the high parasitic resistance in the source/drain of germanium nMOSFET. With  adopting of the … Más…

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Li, Zhiqiang:
The Source/Drain Engineering of Nanoscale Germanium-based MOS Devices - encuadernado, tapa blanda

2016

ISBN: 9783662496817

[ED: Hardcover], [PU: Springer / Springer Berlin Heidelberg / Springer, Berlin], This book mainly focuses on reducing the high parasitic resistance in the source/drain of germanium nMOSFE… Más…

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The Source/Drain Engineering of Nanoscale Germanium-based MOS Devices Zhiqiang Li Author
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The Source/Drain Engineering of Nanoscale Germanium-based MOS Devices Zhiqiang Li Author - libro nuevo

ISBN: 9783662496817

This book mainly focuses on reducing the high parasitic resistance in the source/drain of germanium nMOSFET. With adopting of the Implantation After Germanide (IAG) technique, P and Sb co… Más…

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The Source/Drain Engineering of Nanoscale Germanium-based MOS Devices - encuadernado, tapa blanda

2016, ISBN: 366249681X

[EAN: 9783662496817], Neubuch, [SC: 0.0], [PU: Springer Berlin Heidelberg], CHEMIE FESTKÖRPERPHYSIK ELEKTRONIK HALBLEITER LEITUNG (PHYSIKALISCH) MASSENSPEKTROMETRIE - SPEKTROMETRIE NANOTE… Más…

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Detalles del libro

Detalles del libro - The Source/Drain Engineering of Nanoscale Germanium-based MOS Devices Zhiqiang Li Author


EAN (ISBN-13): 9783662496817
ISBN (ISBN-10): 366249681X
Tapa dura
Año de publicación: 1
Editorial: Springer Berlin Heidelberg Core >2

Libro en la base de datos desde 2016-03-08T13:29:30-06:00 (Mexico City)
Página de detalles modificada por última vez el 2024-02-27T08:13:41-06:00 (Mexico City)
ISBN/EAN: 9783662496817

ISBN - escritura alterna:
3-662-49681-X, 978-3-662-49681-7
Mode alterno de escritura y términos de búsqueda relacionados:
Autor del libro: schottky
Título del libro: the source, mos, germanium, springer theses


Datos del la editorial

Autor: Zhiqiang Li
Título: Springer Theses; The Source/Drain Engineering of Nanoscale Germanium-based MOS Devices
Editorial: Springer; Springer Berlin
59 Páginas
Año de publicación: 2016-06-22
Berlin; Heidelberg; DE
Impreso en
Idioma: Inglés
53,49 € (DE)
54,99 € (AT)
59,00 CHF (CH)
POD
XIV, 59 p. 52 illus., 49 illus. in color.

BB; Hardcover, Softcover / Physik, Astronomie/Atomphysik, Kernphysik; Elektronische Geräte und Materialien; Verstehen; Elektrotechnik, Elektronik; Contact resistance; Thermal stability; Germanium-based MOSFET; Dopant segregation; Source and drain; Nickel germanide; Dopant activation; MOS device; Semiconductors; Electronic Circuits and Systems; Nanophysics; Condensed Matter Physics; Schaltkreise und Komponenten (Bauteile); Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik); Nanowissenschaften; EA; BC

This book mainly focuses on reducing the high parasitic resistance in the source/drain of germanium nMOSFET. With  adopting of the Implantation After Germanide (IAG) technique, P and Sb co-implantation technique and Multiple Implantation and Multiple Annealing (MIMA) technique, the electron Schottky barrier height of NiGe/Ge contact is modulated to 0.1eV, the thermal stability of NiGe is improved to 600℃ and the contact resistivity of metal/n-Ge contact is drastically reduced to 3.8×10−7Ω•cm2, respectively. Besides, a reduced  source/drain parasitic resistance is demonstrated in the  fabricated Ge nMOSFET. Readers will find useful information about the source/drain engineering technique for high-performance CMOS devices at future technology node.
Nominated as an Excellent Doctoral Dissertation by Peking University in 2014 Proposes innovative methods for addressing the challenges in the source/drain engineering of germanium nMOSFETs Experimentally demonstrates the methods’ effectiveness with regard to reducing parasitic resistance in the source/drain of germanium nMOSFETs Includes supplementary material: sn.pub/extras

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